当前位置：正文

反差 推特 半导体制造关键子系统！读懂半导体真空系统的应用及留心的迫切性

跟着半导体产业的赶紧发展，半导体建设商场限制也在同步增长。关联数据判辨，2017年至2022年，大众半导体建设商场限制从566亿好意思元升迁至1076.4亿好意思元。建设商场扩增极大升迁了建设零部件需求。据推算，2022年大众半导体建设零部件采购额约为500亿好意思元。

图片

▲ WSTS于2023年6月份发表数据，2022年大众半导体商场销售额达到5741亿好意思元，2024年瞻望达到5760亿好意思元   数据开首：WSTS

图片

▲ 半导体建设大众商场限制 府上开首：SEMI，民生证券计较院

按照结构组成，半导体零部件可约略分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器面容类、光学类等。其中真空系统类则分为干式真空泵、分子泵等多样真空泵、千般阀件、压力计以及O型密封圈等。

图片

▲ 半导体建设产业链荆棘游图片开首：民生证券计较院

VLSI Research 统计，近10年来半导体关键子系统供应商销售额排行，前十位被真空泵、光学系统、阀门厂家紧紧占据。用最直不雅的数据例如，一个月产4万片的晶圆厂，苟简需要上千台真空泵及尾气处理系统和500台分子泵。可见真空系统在半导体行业的迫切性。

 一 半导体制造与真空系统 

半导体产物的通盘制造过程可分为：晶圆加工—氧化—光刻—刻蚀—薄膜千里积—互连—测试—封装 等智商，其中包括了上百个具体的工艺重要。其中真空系统在半导体制造中涵盖了晶片加工、薄膜涂覆、化学气相淀积、等离子体刻蚀等多个重要。

图片

▲ 真空系统在半导体制造的主要应用重要

真空系统在半导体制造中的作用主要有两点：❶抽取工艺腔的气体，去除颗粒与迷漫的水汽等杂质，有助于减少其对半导体材料的沾污；❷猖狂气压，杀青对半导体器件制造过程中的精准猖狂。凭据以上需求半导体建设的真空系统主要由干式真空泵，分子泵与冷泵产物组成。

当前大众半导体真空系统不管是产物水准依然商场份额，欧洲厂商皆占据很大比重。其中，EDWARDS 无疑是半导体产业真空产物的理念念合营伙伴。本文以 EDWARDS 部分产物为例，说明干式真空泵、分子泵及尾气处理建设在半导体制造中的应用。

图片

▲ 世界主要真空泵供应商积年销售额数据开首：VLSI research，EDWARDS，单元：百万好意思元

图片

▲ TechInsights 发布2023年十泰半导体建设商的排行，EDWARDS 位列第四

● 干式真空泵

当前在半导体鸿沟实行的干式真空泵主要为：多级罗茨真空泵、爪式真空泵和螺杆真空泵。

在半导体分娩线上，出入样品加载腔（L/L腔），传输腔和工艺处理腔皆需真空环境，但对真空系统的条款有所不同。

关于L/L腔抽真空，干式真空泵濒临的主要挑战是耐受高频大气冲击；关于传输腔，干式真空泵濒临的主要挑战是大气冲击以及猖狂特定气量下的压力；关于工艺腔抽真空，干式真空泵的条款是耐腐蚀，雄厚性高，处理粉尘才气强及密封性精粹。

当前工艺处理腔真空系统主流大多是接受罗茨+多级爪式干泵或罗茨+多级罗茨干泵的多级泵结构，以 EDWARDS iXH 泵与 iXM 泵为相比典型的应用形状，其主要凭据工艺挑战采取合适的型号。

图片

图片

▲ 自上而下辞别为：EDWARDS iXM 系列（顽劣耗、高性能）、iXH 系列（强耐腐蚀性、处理粉尘才气强）

● 分子泵

分子泵庸碌应用于半导体制造过程中的光刻机、薄膜千里积建设、刻蚀建设、离子注入机、原子层千里积（ALD）等关键建设。

如 EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于条款高真空、低振动、无沾污、少留心的半导体工艺中。其多轴磁力轴承系统可使转子在运转时代保管悬浮情状，遗弃了机械轴承带来的损坏风险，同期较大裁汰杂音和振动。

图片

▲ EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵：抽气速率300L/s至4500L/s，极限压力<10-10mbar，工艺气体流量处理才气强

芯片分娩过程需络续绝使用有机溶剂和酸性溶液，反应过程会产生宽绰的有毒无益的气体。EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵为工艺过程提供保护涂层、氮气吹扫、加热保护等选项，其可靠的质地和性能，在商场上享有较大声誉，在很多具有挑战性的半导体工艺中是理念念建设。

● 尾气处理建设

图片

半导体工艺中使用的气体有毒性，易燃易爆，腐蚀等特质，不行径直排放至大气中，需要用尾气处理建设将不可控的气体鬈曲为可控气体，以下为废气的排放旅途。

图片

▲ 

图片

EDWARDS 以 Atlas 为代表的一系列尾气处理建设具有精粹的气体处理物化，粉尘处理才气强和安全性高，获取了大众半导体客户的招供。同期尾气处理建设与干式真空泵组成集成系统，以莽撞高风险工艺，升迁工艺雄厚性与空间利用率，共同组成了 EDWARDS 无缺的半导体真空及尾气处领略决决议。

 二 半导体真空系统留心、维修的迫切性 

纵不雅大众半导体行业的发展态势，其制造工艺对半导体建设的条款已越来越暴虐。相应的，半导体零部件在材料、结构、工艺、品性、精度、可靠性、雄厚性等各方面也濒临着更高的尺度。

关于真空系统及尾气处理建设雷同如斯。真空系统是半导体建设的迫切组成部分，真空泵运转情况的优劣径直影响制品的质地和建设的安全。是以，对真空系统及尾气处理建设如期查验、实时发现故障和处理，可灵验纯粹维修时代，保证建设安全经济运转。

而实在数据也诠释了以上不雅点。通过分析2017年至2022年大众半导体真空泵商场限制情况咱们不错得出论断：维修商场与建设商场共同组成了半导体真空泵商场全景，其中维修商场占比约25%，说明半导体真空泵领有宏大的维修商场。很多真空系统及尾气处理建设是24小时络续绝运转的，维修建设注定加多分娩资本，该数据也让半导体厂商结识到建设检测、查验、留心、维修的迫切性。

图片

▲ 

图片

 三 优质售后劳动 更好助力客户分娩 

另一方面，优质半导体真空系统供应商凭据商场及客户需求，在提供高品性建设硬件的同期，升迁售后劳动质地，保证产物雄厚高效运转，更好的助力客户分娩。

算作真空和尾气处理鸿沟的大众合营伙伴，EDWARDS 售后劳动团队一直助力现场运营，为客户提供优质劳动。据统计，EDWARDS 罕有万台建设遍布宇宙，保证稠密建设的平淡运转，保险客户高效分娩，成为其售后劳动团队的紧要任务！

从装机与维修，到珍重与抑止创新，EDWARDS 售后劳动团队运营责任之是以获取广泰半导体客户的招供，其原因主要体当今以下四个方面：

❶ 专科的售后劳动团队

EDWARDS 售后劳动团队在国内领有专科的半导体建设维修、珍重时期及数百名申饬丰富的工程师，分享大众半导体建设应用常识，同期领有国内产物应用、时期赈济、国际产物研发等里面团队的强力赈济，确保得志不同的客户需求，保证建设的“健康”！

图片

❷ 问题反映更实时

EDWARDS 售后劳动团队遍布宇宙数十个主要城市，劳动东谈主员全天候反映。灵验的劳动战术，完善的问题处理和升级过程，确保更快更准地识别和科罚问题，为客户裁汰分娩过程中的损构怨资本。

图片

❸ 现场功课更安全

售后劳动团队分享 EDWARDS 大众安全料理体系，将公司安全料理办法和客户安全办法不绝结，制定出妥当客户和售后团队的现场安全料理体系。通过抑止的风险评估和安全风险识别，制定莽撞范例裁汰风险，保证现场功课的安全性。通过售后团队成员抑止提高的安全果断，保证现场建设、东谈主员的安全以及客户分娩安全。

图片

❹ 劳动质地更贴心

使用来孤高众劳动申饬制定的功课指令书，确保团队劳动成员在提供客户劳动前完成专科级产物培训认证，并抑止升迁成员自本事段和劳动技巧，旨在为客户提供更贴心的高质地劳动；凭据现场客户限定、分娩工艺和建设生命周期，为客户量身定制优质劳动策划，合手续创新现场运营情况。

图片

算作真空和尾气处理鸿沟的科罚决议提供商反差 推特，EDWARDS 售后劳动团队凭借宏大的客户群体，聚会大众半导体建设数据和该鸿沟全面的专科常识，纯真哄骗劳动料理当用系统，实时制定灵验的劳动战术，裁汰现场风险和不细目性，为客户打造各人级的真空系统及尾气处理建设维修珍重科罚决议。